据麦姆斯咨询消息，苏州园区某国内知名企业已完成了商业化热气泡式喷墨打印头产品开发，其打印分辨率达1200dpi，该产品将率先投入市场。苏州微纳制造中试线作为其芯片加工平台，结合客户热气泡式喷墨打印头设计及相关特殊需求，凭借独具优势的工艺模块和相关核心技术，成功帮助客户实现了科研级和工业级热气泡式喷墨打印头的工艺开发，为客户提供可批量生产的喷墨头产品。
MEMS热气泡式喷墨打印头涉及到高性能电阻薄膜制备，异型孔DRIE刻蚀，高精度高均匀性喷射结构制备等关键工艺技术，其中包含微结构加工工艺、释放工艺、牺牲层材料工艺、结构层材料工艺等多种工艺模块。经过不懈的努力，苏州微纳制造中试线完成了高均匀性电阻薄膜沉积、低温低应力PECVD薄膜沉积、牺牲层释放、喷孔结构层制备、有机材料层刻蚀及释放、高深宽比异型孔深硅刻蚀等多种新工艺和特殊工艺的开发，以及可用于喷墨头产品的工艺集成技术的开发。
创新的MEMS技术引领喷墨打印产业迈向新纪元
MEMS喷墨打印头具备高分辨率、高集成性及扩展性，适用于宽幅单通（Single Pass）喷墨打印应用，通过精确的装配控制和维护一体化设计，提升了喷墨精度和效率。基于MEMS制造工艺的喷墨打印头可以进一步提高性能，为通过更低的成本来制造更好、更快的喷墨打印头提供了思路，为纺织品印刷、喷绘印刷、陶瓷打印以及3D打印等工业应用领域带来了极大的市场前景。
喷墨打印应用领域及喷墨打印机价格（单位：US$）
Yole预测2021年MEMS喷墨打印头市场将增长至10亿美元。随着成熟的消费类打印市场持续萎缩，喷墨打印头制造商将重新制定他们的市场策略，在办公、商业和工业打印市场创造新机遇，这几块市场在2021年预计将达3.65亿美元。
2014~2021年MEMS喷墨打印头细分市场预测（单位：US$M）
我国对喷墨打印头有着巨大的市场需求，为改变当前喷墨打印头产品基本依赖进口的局面，打破国外垄断，国内企业及研发机构需要加大科研攻关力度，取得自主知识产权，抓住时机，抢占巨大的应用市场，推动国产喷墨打印头产业化的发展。
关于苏州微纳制造中试平台
苏州微纳制造中试平台成立于2013年，是苏州首家专注于微纳机电制造（MEMS）专业研发与代工的平台企业。微纳中试线具有专业的MEMS技术，杰出的工艺能力，以及可以为客户提供多种MEMS器件生产制造的技术开发模式。一直以来，微纳中试平台已为客户制造了包括麦克风、压力传感器、喷墨打印头、微镜等多种MEMS器件。
如果您希望咨询相关MEMS工艺及代工情况，请联系：
殷飞
电话：18912617215
邮箱：yinfei@memsconsulting.com
沪公网安备 31011702001106号